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工业级光谱仪如何选择?三大核心指标解析
光谱分析设备的性能基准
在半导体晶圆检测领域,高分辨率光谱仪需配备阶梯光栅分光系统,其闪耀波长需匹配探测器的响应曲线。以ccd阵列探测器为例,量子效率在400-1000nm范围内应保持85%以上,暗电流需控制在2e-/pixel/s@-20℃。宏光明hgm-sp2000系列采用背照式深耗尽技术,搭配致冷型光电倍增管,可实现0.02nm的光谱分辨率。偏振敏感度是常被忽视的关键参数,尤其在拉曼光谱
【设备优选】
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- 2025 年 5 月 (99)